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    NANOFLASH

    정립형 광학·전자 융합 현미경

    • NanoFlash 동작원리

      전자현미경과 광학현미경을 동축 정렬하여 실시간으로 동 위치를 관찰하게 하였습니다. 거울에 구멍을 뚫어 전자빔을 통과하게 하고, 대물렌즈를 진공챔버 내부에 위치함으로써 시료 이동없이 이미지를 얻을 수 있도록 하였습니다. 광학현미경과 전자현미경이 통합 되지 않은 기존의 제품의 단점인 시료가 오염되거나 변형될 가능성이 줄어들어 더 좋은 이미지를 신속하고 정확하게 얻을 수 있습니다.
    • NanoFlash 사용자환경

      전자현미경 이미지(좌)와 광학현미경 이미지(우)를 동시에 얻을 수 있고, 챔버스코프가 기본으로 장착되어 시료의 현재위치 및 광학현미경 위치를 파악하기 쉽습니다. 주사전자현미경의 이미지는 포토모드로 출력가능하고, 스캔모드변경은 버튼을 클릭하는 방식으로 편리하게 되어있습니다. 모든 렌즈 컨트롤은 마우스를 통해 컨트롤이 가능하여 노브를 돌려 최적화 시키는 것보다 빠른 이미지 측정이 가능합니다. 프로세싱 탭을 통해 측정하고자 하는 시료의 크기 및 면적 등을 계산할 수 있습니다. 스테이지 탭을 통해 광학현미경의 조정 및 5축 스테이지를 조정 가능하고, 이미지를 더블 클릭하는 것으로 좌표이동이 가능합니다.
    • 스테이지 & 진공챔버

      광학현미경과 주사전자현미경을 동시에 관찰하기 위해 챔버 내부에 광학 현미경의 대물렌즈를 측면에 모듈화 시켜 장착할 수 있게 하였습니다. 광학현미경과 전자현미경의 대물렌즈들이 서로 간섭을 일으키지 않도록 전자현미경의 대물렌즈를 좀 더 뾰족하게 함으로써, 작동 거리를 줄였고, 이를 통해 분해능 향상을 가져올 수 있게 제작하였습니다. 챔버의 우측 상단에는 EDS를 장착할 수 있는 포트가 구성되어있고, 빈 포트를 통해 다양한 어플리케이션을 할 수 있게 구성하였습니다.
    • 전자현미경 부품 모듈 판매

      전자총 모듈

      소스 : W(분해능:3 nm), CeB6(분해능:2 nm), LaB6(분해능:2 nm), FE(분해능:2 nm이하) 중 선택가능 전자총 모듈 별도 주문생산가능

      전자빔 집속 모듈

      자기장 렌즈 기반 안정적인 빔 집속 사용자에 맞는 맞춤형 모듈 컬럼 제작

      형광(광학)현미경 모듈

      광학현미경과 주사전자현미경 동시 이미징 가능 동축정렬을 통해 원하는 미세구조 획득 지원

      검출기 모듈

      EDS, BSE, SE 검출기 모듈 장착 가능 라만, Cathode Luminescence 모듈 장착 가능

    Nanoflash 규격정보

    Dimension (cm) 85 ×"90"× 130
    Electron Source W-Filament, LaB6, CeB6
    Resolution 2 nm(CeB6, LaB6), 3 nm(W) @ 30 k
    Electron Gun Vacuum System W-Filament : 10-5 torr, CeB6, LaB6 : 10-8 torr
    Accelerating Voltage 0.5 ~ 30 kV
    Magnification (W-Filament Source) ×30 ~ ×300,000, *×300 ~ ×300,000(mirror in)
    Field of View 3 mm, *0.6 mm(mirror in)
    Detector SE, BSE, EDS(Optional), LM/FM(Optional)
    5-axis Auto Stage X : ±40 mm, Y : ± 40 mm, Z : 3 to 45 mm , T : -20°~ 90° R : 360°
    Image Mode (Pixel) RED(320×240), TV(640×480), Slow(800×600), Photo(640×480, 1280×960, 2560×1290)
    Frame Rate RED (Max. 30 Frames/Sec), TV (Max. 15 Frames/Sec), Slow (Max. 8 Frames/Sec)
    Vacuum System Rotary Pump, Turbo Molecular Pump
    Os Windows 10
    Operation KeyBoard / Mouse
    Filing Format BMP, TIFF, JEPG